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gan快速退火爐,gan快速退火爐參數,瑞樂gan快速退火爐參數

作者:admin 瀏覽量:567 來源:本站 時間:2022-09-10 19:27:24

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技術規格
2.1參數

RTP-RL300
最大產品尺寸4-12英寸晶圓或者最大支持300×300mm產品
溫度范圍室溫~1250℃
最高升溫速度150℃/s
溫度均勻度±1%
溫控方式快速PID溫控
降溫速度200℃/min(1000~400℃)
腔體設計可配置大氣常壓腔體或者真空腔體
腔體冷卻方式水冷腔體,獨立水冷源控制冷卻
襯底冷卻方式氮氣吹掃
工藝氣體MFC控制,常規兩路氣體,最大可擴充至6路氣體


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