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碳化硅快速退火爐,瑞樂碳化硅載盤簡介

作者:admin 瀏覽量:620 來源:本站 時間:2022-09-19 15:22:48

信息摘要:

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瑞樂碳化硅載盤簡介

圖片1.png 

 

碳化硅載盤(也成碳化硅托盤)在半導體行業具有廣泛應用,CVD、RTP/RTA、真空濺射、刻蝕、蒸鍍、氣體沉淀等,如,在對襯底進行刻蝕時,需通過碳化硅載盤承載半導體襯底。

碳化硅載盤材質成分是純SiC(純度>99.9%),與石墨基載盤相比,其使用壽命是后者的四倍,且長期使用不變形,穩定性好,能夠耐各種強酸強堿化學試劑腐蝕(比如FH酸、濃H2SO4)。SiC載盤還具有優秀的導熱性、低膨脹系數,抗熱沖擊性佳,耐電漿沖擊性等特點。

碳化硅載盤是采用高純超細碳化硅微粉,通過靜壓工藝成型、2450高溫燒結而成??筛鶕脩粼O計圖紙要求進行外徑、厚度尺寸,穴位數量、尺寸、取片槽位置和形狀進行精加工,以滿足用戶的具體使用要求。

8基本參數

 

內容

參數

Material:

Pure Silicon | SiC

Wafer Diameter:

100/125/150/200/300mm根據客戶要求定制

Wafer Thickness:

250~750um±25um根據客戶要求定制

Pocket Size & Shape:

根據客戶要求定制

Pocket Depth:

200~500um或視基盤厚度深度可調

Flat/or Notch:

Available

Others:

可加工異形槽、方形槽等;根據客戶設計要求定制

 

8主要優勢與特點

碳化硅載盤,可根據不同工藝其名稱不一樣,比如,碳化硅刻蝕盤,ICP刻蝕盤,LED刻蝕用碳化硅托盤(SIC托盤)等。其主要功能特點如下:

?耐高溫--1800℃溫度下正常使用;

?高熱導性--和石墨材料的導熱性相當;

?硬度高--硬度僅次于金剛石、立方氮化硼;

?耐腐蝕--強酸、強堿對其無任何腐蝕,抗腐蝕性優于碳化鎢和氧化鋁;

?重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近;

?不變形--極小的熱膨脹系數;

?抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化,抗熱沖擊,耐急冷急熱,性能穩定。

 

8典型應用

·LED芯片制造中的RTP /RTA快速高溫熱處理工藝

·CVD、MOCVD、真空磁控濺射

·刻蝕、蒸鍍、氣體沉淀

 




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