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gaas快速退火爐、GaAs快速退火爐使用注意細節

作者:admin 瀏覽量:333 來源:本站 時間:2022-09-17 13:36:20

信息摘要:

gaas快速退火爐、GaAs快速退火爐使用注意細節。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gaas快速退火爐、GaAs快速退火爐使用注意細節,希望對你有所幫助!

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GaAs快速退火爐的產品特點:

  1、控制電路采用模糊PID程序控制技術,控溫精度高,熱慣性小,無溫度沖擊,性能可靠,操作簡單。
  2、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能。高真空系統采用高壓耐沖擊分子泵,防止意外漏氣損壞分子泵,延長系統使用壽命。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs快速退火爐使用細節:
  1、爐子使用或長期不用后,應120℃烘烤1小時,300℃烘烤2小時,以免爐裂。
  2、爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件和爐襯。
  3、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內,保持爐內清潔。
  4、如果在爐內使用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,稱為失透(也稱結晶),是連續熔化石英管的固有缺陷,屬正?,F象。
  5、冷爐在使用時,由于爐子是冷的,需要吸收大量的熱量,所以低溫段的升溫速度不易太快,各溫度段升溫速度的差異不容易太大。設定升溫速度時,應充分考慮燒結材料的物理化學性質,以免出現噴濺污染爐管的現象。
  6、定期檢查溫控系統電氣連接部分是否接觸良好,特別注意加熱元件的連接點是否緊固。
  7、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間后,如果真空度下降,可以更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅橡膠圈,或者重新安裝不銹鋼法蘭盤,或者抽真空系統可以更換和維修,以提高系統的整體真空度。


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