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SiC碳化硅載盤

碳化硅載盤,碳化硅刻蝕盤,ICP刻蝕盤LED刻蝕用碳化硅托盤(SIC托盤)φ600mm是深硅刻蝕(ICP刻蝕機)專用的配件晶圓載盤,也有稱為晶圓承載盤、硅片承載盤,英文稱為Pocket Wafer。在半導體的CVD、真空濺射等方面具有廣泛應用。我們可以為客戶提供硅、碳化硅材料的定制晶圓載盤,以滿足客戶不同的應用需求??梢蕴峁д婵湛?/p>

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碳化硅載盤,碳化硅刻蝕盤,ICP刻蝕盤

LED刻蝕用碳化硅托盤(SIC托盤)φ600mm是深硅刻蝕(ICP刻蝕機)專用的配件

晶圓載盤,也有稱為晶圓承載盤、硅片承載盤,英文稱為Pocket Wafer。在半導體的CVD、真空濺射等方面具有廣泛應用。我們可以為客戶提供硅、碳化硅材料的定制晶圓載盤,以滿足客戶不同的應用需求。

可以提供帶真空孔的承載盤、各種異形內槽的承載盤等。

碳化硅陶瓷制品,采用高純超細碳化硅微粉,經2450℃高溫燒結而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金屬硅等金屬雜質。

?耐高溫--1800℃溫度下正常使用;

?高熱導性--和石墨材料的導熱性相當;

?硬度高--硬度僅次于金剛石、立方氮化硼;

?耐腐蝕--強酸、強堿對其無任何腐蝕,抗腐蝕性優于碳化鎢和氧化鋁;

?重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近,;

?不變形--極小的熱膨脹系數,

?抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化,抗熱沖擊,耐急冷急熱,性能穩定。



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可以提供帶真空孔的承載盤、各種異形內槽的承載盤等。

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?耐高溫--1800℃溫度下正常使用;

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?硬度高--硬度僅次于金剛石、立方氮化硼;

?耐腐蝕--強酸、強堿對其無任何腐蝕,抗腐蝕性優于碳化鎢和氧化鋁;

?重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近,;

?不變形--極小的熱膨脹系數,

?抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化,抗熱沖擊,耐急冷急熱,性能穩定。


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